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Agilent
Agilent安捷倫 渦輪分子泵是一種高真空泵,其工作原理基于渦輪和分子兩個主要部分。以下是安捷倫渦輪分子泵的基本工作原理:
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渦輪部分: 渦輪是泵內(nèi)的旋轉(zhuǎn)部分,通常由多個葉片組成。這些葉片通過電機(jī)驅(qū)動,以高速旋轉(zhuǎn)。渦輪的轉(zhuǎn)速通??梢赃_(dá)到幾萬轉(zhuǎn)每分鐘(rpm),這樣可以在泵內(nèi)產(chǎn)生高速氣體流。
分子部分: 渦輪旋轉(zhuǎn)時,它與氣體分子發(fā)生碰撞。由于渦輪葉片非常輕,因此氣體分子的動能在碰撞時可以傳遞給渦輪。這種轉(zhuǎn)動能的傳遞使得氣體分子在泵內(nèi)產(chǎn)生向排氣口方向的運(yùn)動。
氣體抽除: 渦輪分子泵通過運(yùn)動的渦輪葉片將氣體分子從泵的入口端吸入,并推動它們朝著出口端運(yùn)動。在氣體分子在渦輪葉片之間移動時,會經(jīng)歷多次碰撞和傳遞動能的過程。由于葉片的高速旋轉(zhuǎn),氣體分子在泵內(nèi)逐漸被加速并排除。
真空產(chǎn)生: 當(dāng)氣體分子被逐漸抽出并排除時,泵內(nèi)產(chǎn)生了高真空。渦輪分子泵通常與其他真空泵(例如根據(jù)分子泵、離心泵等)一起使用,以實(shí)現(xiàn)更高的真空水平。
以上就是北京麥迪森科技有限公司提供的Agilent安捷倫 渦輪分子泵工作原理的介紹。