如何選擇適用于不同真空級(jí)別的真空饋通Feedthrough

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選擇適用于不同真空級(jí)別的真空饋通時(shí)，需要考慮以下幾個(gè)關(guān)鍵因素：

真空級(jí)別：首先要確定所需的真空級(jí)別。真空級(jí)別通常根據(jù)所需的壓力范圍來(lái)確定，例如高真空、超高真空或超高真空。不同級(jí)別的真空饋通具有不同的設(shè)計(jì)和材料要求，以滿足相應(yīng)真空級(jí)別的密封性能和耐壓要求。

材料選擇：選擇適合不同真空級(jí)別的真空饋通時(shí)，需要考慮材料的特性。對(duì)于高真空級(jí)別，通常選擇具有良好密封性和低氣體釋放率的高純度金屬或陶瓷材料。對(duì)于超高真空和超高真空級(jí)別，通常需要選擇具有極低氣體釋放率和低揮發(fā)性的特殊材料，如不銹鋼、鍍金材料、蒙皮材料等。

密封性能：不同真空級(jí)別的應(yīng)用對(duì)密封性能有不同的要求。高真空級(jí)別通常要求較高的密封性能，以防止氣體泄漏。因此，在選擇真空饋通時(shí)，需要考慮其密封結(jié)構(gòu)和密封材料，以確保良好的密封性能。

泄漏率：不同真空級(jí)別的應(yīng)用對(duì)泄漏率有不同的要求。低泄漏率是實(shí)現(xiàn)高真空級(jí)別的關(guān)鍵之一。選擇真空饋通時(shí)，要考慮其設(shè)計(jì)和加工工藝，以減少泄漏風(fēng)險(xiǎn)并保持系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

清潔度：在高真空級(jí)別的應(yīng)用中，要求真空饋通具有較高的清潔度，以防止雜質(zhì)的釋放和污染。因此，在選擇真空饋通時(shí)，需要考慮其表面處理和清潔工藝，以確保滿足所需的清潔度要求。