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如何判斷真空閘閥氣密性是否符合要求?
閘閥在真空系統(tǒng)中的應(yīng)用,首先要保證氣密性達(dá)到要求。通常真空閘閥漏氣越少,氣密性越好。
如何判斷真空閘閥的氣密性好壞呢?主要看其漏氣速率,所謂漏氣速率是指在單位時(shí)間內(nèi),所有通過不同渠道漏入真空閥的氣體量,當(dāng)真空閥門的漏量小于規(guī)定的允許漏量時(shí),氣密性達(dá)到要求。真空閘閥并不能保證完全不漏氣,一般都有可允許的漏氣率范圍,在選擇閘閥前,需要考慮所應(yīng)用環(huán)境、型號(hào)等是否符合要求。
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