Edwards愛德華nXDS干式渦旋真空泵

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Edwards愛德華nXDS干式渦旋真空泵，nXDS 泵在其他渦旋泵的基礎上進行優(yōu)化，提高了抽速，獲得了更高極限真空、更低功耗和噪聲。借助氣鎮(zhèn)功能可以對可冷凝蒸汽(包括水、溶劑、稀酸和堿)進行抽真空。nXDS 泵還采用了新的端面密封技術，顯著延長了端面密封條更換的時間間隔。

愛德華Edwards nXDS-C是改進型，更適用于水蒸氣以及某些具有腐蝕性物質的應用。這個耐化學腐蝕的版本是基于Chemraz內閥以及不銹鋼材料。nXDS-R型不帶氣鎮(zhèn)因此它不能被突然打開。它可應用于稀有氣體的再循環(huán)或者氣體回收。

產品特點：

* 溫控風扇：可以在低負載條件下降低風扇轉速，從而使噪聲降至僅 52 dB(A)。

* 軸承罩：可確保將制程氣體與軸承潤滑劑相分離，以確保清潔的真空環(huán)境，并避免制程氣體中的污染物進入潤滑劑中，從而延長軸承的使用壽命。

* 變頻器驅動：全球范圍內泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自動電壓調整特性，從而有助于打造很好的用戶體驗。

* 渦旋盤經優(yōu)化設計后：轉速提高，極限真空比一代提高一個數量級，低到極限壓力僅為7 x 10^-3mbar。

* 經優(yōu)化設計的端面密封技術：使得使用壽命發(fā)生顯著變化，就大多數應用而言，典型的端面密封條使用壽命達到 2 年以上。

* 高流量氣鎮(zhèn)特性：可實現(xiàn)高到 220 g/hr 的速度抽取蒸汽(包括水蒸汽)。

產品應用：

一般清潔泵送應用，電子掃描顯微鏡-SEM，射束線和高能物理，前級渦輪泵，覆層，低溫學，脫氣/硫化-油，環(huán)氧樹脂，蒸餾/萃取/過濾，冷凍干燥，熔爐，凝膠體干燥，實驗室工作臺上真空，激光、氣體回收和再循環(huán)，氦檢漏儀，負載鎖和傳輸腔，稀有氣體再循環(huán)，稀有氣體回收，冷凍制造，研發(fā)，旋轉離心蒸發(fā)器，SEM/FIB（離子束維修），溶劑回收，表面科學儀器。

Edwards愛德華nXDS干式渦旋真空泵——技術數據

Edwards愛德華nXDS干式渦旋真空泵