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愛德華渦輪分子泵通常對(duì)氣體負(fù)載和水蒸氣比較敏感。下面是一些渦輪分子泵處理氣體負(fù)載和水蒸氣的方法:
氣體負(fù)載:
過載保護(hù): 渦輪分子泵通常設(shè)計(jì)有過載保護(hù)系統(tǒng),可以防止由于氣體負(fù)載過大而導(dǎo)致泵性能下降或損壞。一些型號(hào)可能配備了自動(dòng)停機(jī)或其他保護(hù)功能,以避免過載。
冷卻系統(tǒng): 渦輪分子泵通常需要冷卻系統(tǒng)來降低運(yùn)行溫度。這有助于防止因?yàn)闅怏w負(fù)載而導(dǎo)致的過熱問題。
水蒸氣處理:
附加泵: 在真空系統(tǒng)中,特別是在處理含有水蒸氣的氣體時(shí),通常使用附加的泵來輔助渦輪分子泵。例如,可以使用吸附泵或擴(kuò)散泵來處理水蒸氣。
氣體冷凝: 在真空系統(tǒng)的前端,可以采取措施來冷凝水蒸氣,使其轉(zhuǎn)化為液體形式并被移除。這有助于減輕對(duì)渦輪分子泵的影響。
真空系統(tǒng)設(shè)計(jì):
預(yù)處理: 在渦輪分子泵之前使用其他真空泵,如吸附泵或擴(kuò)散泵,可以有效地去除大部分氣體和水蒸氣,減輕渦輪分子泵的負(fù)擔(dān)。
氣體冷降: 在真空系統(tǒng)中使用氣體冷降,將氣體冷卻到較低溫度,有助于凝結(jié)和去除水蒸氣。
以上就是北京麥迪森科技有限公司提供的NEXT渦輪分子泵如何處理氣體負(fù)載和水蒸氣的介紹。